青木孝憲

研究者氏名	青木孝憲
	アオキタカノリ
URL
所属	大阪産業大学
部署	工学部電気電子情報工学科
職名	講師
学位	工学士(大阪産業大学)
科研費研究者番号	40268280
J-Global ID	200901021141928991

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器 / 電子デバイス
ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器 / 物性電子工学

学歴

1988年

大阪産業大学工学部電気電子工学科

論文

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Low resistivity transparent conducting Al-doped ZnO films prepared by pulsed laser deposition

Hideaki Agura Akio Suzuki Tatsuhiko Matsushita Takanori Aoki Masahiro Okuda

Thin Solid Films 445(2) 263-267 2003年12月 [査読有り]

A series of AZO films were grown on glass substrates by a method of pulsed laser deposition using a split target divided into AZO (Al2O 3: 1 wt.%) and AZO (Al2O3: 2 wt.%). The film deposition took place at a substrate temperature of 230 °C within ...

PLD法により作製したZnO／In203積層構造光記録膜

鈴木晶雄松下辰彦重田和俊

電気学会論文誌C Vol.123(No.11) pp.1925-1929 2003年11月

本論文ではパルスレーザーアプレーション法で作製したZnO／In203積層構造光記録膜について述べている。2つのターゲットを用いたPLD法で積層構造に膜を堆積させた場合、透過率が低くなり熱アニールにより大きく光学変化が生じることが分かった。ⅩPS探さ分析によりこのメカニズムを調べた。また、DVDテスターにより0．26μmのピットを記録できることを確認し、高分解能SEMによる観察を行った。ZnO：In203＝1：1、膜厚30nmの膜において、書き込みパワー3mWで67dBのCNRが得られた。

パルスレーザー堆積法で作製した酸化亜鉛・酸化ガリウム系光記録膜

鈴木晶雄松下辰彦重田和俊

日本真空協会論文誌真空 Vol.46(No.3) pp.272-275 2003年3月

本論文は、酸化ガリウムと酸化亜鉛のスプリットターゲットを用いたパルスレーザー堆積法で積層構造光記録膜を作製し、基礎特性と光ディスク特性について述べている。Ga203とZnOのトレース比が3：5のとき最も大きな透過率差（熱処理前後）40％が得られた。膜中のGa203が増加するに従って表面形態が、改善されることが分かった。この系のCNRは約50dBであり、従来のDVD－RAMやW系に比べて低パワーでの記録が可能となった。

β一FeSi2薄膜のNd：YAGレーザーによるアニーリング効果

鈴木晶雄松下辰彦奥島浩久安井光弘

日本真空協会論文誌真空 Vol.46(No.3) pp.237-240 2003年3月

本論文は、Nd：YAGレーザー（波長532nm）を用いたパルスレーザー堆積法で700℃に加熱したSi（1（氾）基板上にFeを堆積し、同レーザーによるアニーリングで結晶性が優れ、平滑な表面形態を有するβ－FeSi2が得られたことについて述べている。8時間のレーザーアニーリングにより、β－FeSi2の（331）から（400）へと基板にC軸配向した結晶が得られた。また、アニーリングすることにより表面形態も改善されることがSEM観察により分かった。

ZnO transparent conducting thin films prepared by pulsed laser deposition using heated mesh

Akio Suzuki Yoshiyuki Tani Takanori Aoki Tatsuhiko Matsushita Masahiro Okuda

Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan 46(8) 632-635 2003年 [査読有り]

The thin films of ZnO doped with 4 wt% Ga2O3 were deposited on glass substrates by pulsed laser deposition using an ArF excimer laser (λ = 193 nm). A heated mesh was given was arranged between the target and the substrate. In all experiments, repe...

MISC

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Transparent Conducting Zinc Oxide Films Fabricated on Cyclo-Olefin Polymer Substrates

Naoya ICHII Toshimichi KAMINISHI Takanori AOKI Tatsuhiko MATSUSHITA Akio SUZUKI Masahiro OKUDA

The 21th Symposium on Phase Change Optical Information Strage PCOS 2009 2009年11月 [査読有り]

Optical Recording Fe-Based Oxide Films Prepared by Radio-Frequency Magnetron Sputtering

Takanori AOKI Akio SUZUKI Kazuma MISHIRO Tatsuhiko MATSUSHITA Masahiro OKUDA

The 21th Symposium on Phase Change Optical Information Storage PCOS 2008 3-8 2008年11月 [査読有り]

Optical Recording Molybdenum-Oxide Films Prepared by Pulsed Laser Deposition

Kazuma MISHIRO Takanori AOKI Tatsuhiko MAtsushita Akio SUZUKI Masahiro OKUDA

Proceedings of the 19th Symposium on Phase Change Optical Information Storage PCOS 2007 21-26 2007年11月 [査読有り]

電界を印加したPLD法で作製した酸化亜鉛系透明導電膜

安倉秀明青木孝憲鈴木晶雄松下辰彦奥田昌宏

電気学会論文誌．Ｃ 125(11) 1641-1645 2005年

Approximately 150 nm-thick Al-doped zinc oxide (AZO) films with c-axis orientation have been prepared on glass substrates by pulsed laser deposition (PLD) using a split target divided into AZO(Al₂O₃ : 1 wt.%) and AZO(Al_2...

Nd：YAGレーザを用いたPLD法によるβ-FeSi₂薄膜の作製と評価（共著）

安井光弘青木孝憲鈴木晶雄松下辰彦奥田昌宏

電気学会論文誌C 124巻, 11号, 2202-2207(11) 2202-2207 2004年

β-FeSi₂ thin films were grown on Si(111) substrates by pulsed laser deposition (PLD) method using Nd: YAG Laser (λ = 1064 nm, laser energy = 50 mJ, laser energy density = 1.65 J/cm², repetition frequency = 10 Hz). In the fabr...

所属学協会

応用物理学会

電気学会

電子情報通信学会

日本真空協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

次世代超高密度光記録膜用新規酸化物材料に関する研究
日本学術振興会: 科学研究費助成事業奨励研究(A)
青木孝憲

研究期間: 2000年 - 2001年

研究テーマ

研究テーマ	酸化物光記録膜に関する研究
キーワード	酸化物、光記録膜

研究テーマ	透明導電膜に関する研究
キーワード	ZnO
概要	PLD法を用いてZnO系透明導電膜を作成し、低抵抗かつ高透光性を示す材料および成膜手法を開発する。

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電気電子情報工学科

青木 孝憲