岩田 明彦

高周波電圧型インバータにPDM 制御を適用した放電レ ーザー用パルス電源を開発した。まず，非線形な放電負 荷に安定的に電力を供給するための回路構成について検討した。次にレーザーの出力安定性に着目して，レーザーガスの上準位緩和速度とバースト周波数の関係につい て検討し，PDM 制御のためのバースト周波数設定方法と，それを実現する制御回路の構成について検討した。 最後に放電実験を実施し，放電の部分点灯，放電の乱れ，およびストリーマ放電がないことを確認した。

We examined the application of the pulse density modulation (PDM) method to a high-frequency voltage-source inverter for dielectric barrier discharge (DBD). The inverter consists of a full-bridge inverter, step-up transformer, and resonant circuit, and the high-frequency output is supplied to a pair of dielectric electrodes. It is characterized by applying the PDM method to inverter control, and burst controlling the inverter. In this paper, we first describe the specifications and circuit configuration required for a high-frequency voltage-source inverter. Next, we describe the concept of burst frequency setting as a new parameter and the method of constructing a pulse-generating circuit. Finally, a discharge test by prototype inverter is carried out, and it is demonstrate that discharge is stabilized by using PDM.